中國電科48所抓住國家IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展機遇，充分利用“十五”期間積淀的技術(shù)基礎(chǔ)、搭建的研發(fā)平臺，于2008年、2011年先后承擔(dān)了02專項90-65nm大角度中束流離子注入機和45-22nm低能大束流離子注入機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目。

      90-65nm大角度中束流離子注入機項目進展平穩(wěn)順利

      β機于2010年11月進入中芯國際北京生產(chǎn)線，2011年完成成套工藝小批量產(chǎn)品流片與馬拉松測試。2012年，通過功能改進及售后服務(wù)質(zhì)量提升，先后進行的性能測試表明：0.16um的顆粒在20個/片以下，達到用戶的要求；生產(chǎn)效率接近主流設(shè)備水平；氣態(tài)離子源使用達到600小時。基于工藝測試的良好表現(xiàn)，中芯國際進行了小批量商用產(chǎn)品試生產(chǎn)，結(jié)果顯示：該設(shè)備滿足大生產(chǎn)線90-65nm工藝要求，能較好地完成產(chǎn)品的生產(chǎn)。

      研發(fā)過程中，項目團隊申請發(fā)明專利103項，授權(quán)4項。目前，48所已與中芯國際工廠初步達成多機臺銷售意向，并正與國內(nèi)幾家知名半導(dǎo)體廠家進行銷售洽談。

      48所將繼續(xù)優(yōu)化軟件系統(tǒng)，提高軟件可靠性；完成項目驗收資料整理與齊套；致力于市場拓展，確保項目產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)的圓滿完成；加強加大研發(fā)人員的建設(shè)與鍛煉，建設(shè)一支新型的團隊。

      45-22nm低能大束流離子注入機項目進展有序有為

      2011年，48所制定了低能大束流離子注入機整機研發(fā)方案，細化各節(jié)點目標(biāo)及計劃，完成關(guān)鍵技術(shù)寬帶束離子源系統(tǒng)搭建，進行寬帶束離子源參數(shù)測試。2012年3月完成光路設(shè)計及驗證，并通過專家評審。目前，項目已完成α機整機分系統(tǒng)方案設(shè)計，正處于整機零部件設(shè)計、采購與加工階段。

      項目研發(fā)過程中，研發(fā)團隊結(jié)合創(chuàng)新情況，已申請專利3項。2012年底，48所將在完成 α機整機安裝集成的同時，進一步完善項目管理和質(zhì)量控制體系，充分利用多年積累的技術(shù)優(yōu)勢和研發(fā)經(jīng)驗，為項目的成功研制奠定基礎(chǔ)。近日，48所離子注入機團隊在中國電科第二屆科技與創(chuàng)新大會榮獲“科技與創(chuàng)新大會創(chuàng)新團隊”表彰。

      中國電科48所將繼續(xù)弘揚“敢于挑戰(zhàn)、勇于創(chuàng)新、甘于奉獻”的精神風(fēng)貌，持續(xù)加強攻關(guān)力度，不斷提高創(chuàng)新能力，嚴格按照項目節(jié)點要求，高效推動項目進展，力爭實現(xiàn)離子注入裝備系列高端產(chǎn)品的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。